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会员 消息 收藏 意见反馈 退出登录 能源/化工 工程科技 【精品】工业硅工艺流程 2.8分 26阅读 0下载 上传 9页 收藏 分享 存网盘 举报 APP 客户端打开晶体硅生产一般工艺流程。⑴清洗清洗的目的:1去除硅片表面的机械损伤层。2对硅片的 径向电阻率均匀性得到改善,但需配置磁场设备并提供激磁电源,增加成本和工艺难度; B
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